ویژگی های سیستم بررسی ویفر 8 اینچی اولمبوس

طیف گسترده ای از انعطاف پذیری و انعطاف پذیری، سیستم بازرسی ویفر 8 اینچی اولمبوس دارای قابلیت کار و قابلیت اطمینان بالا است.

● سیستم بازرسی ویفر 8 اینچی اولمپاس برای انتقال صفحات سیلیکونی با اندازه های مختلف

بر اساس اندازه سیلیکون، سیستم های بررسی ویفر سری AL120 دارای سه مدل اساسی هستند: تک 200 میلی متر (AL120-L8) ، 150 میلی متر و 200 میلی متر سازگار (AL120-L86) ، تک 150 میلی متر یا کمتر (AL120-L6). هر کدام برای انتقال سیلیکون هایی طراحی شده اند که در حال بررسی میکروسکوپی هستند. معاینه های ماکرو مثبت و ماکرو پشتی می توانند با سایز های مختلف سیلیکون استفاده شوند.

سیستم بازرسی ویفر 8 اینچی اولمپاس می تواند سیلیکون نازک را انتقال دهد، یعنی نازک تا 90um

برای مقابله با سیلیکون های نازک تر، سیستم بازرسی ویفر اولمپس به ویژه بازوی انتقال را طراحی کرده است که می تواند با جعبه های 200 میلیمتری 25 قطعه و سیلیکون های نازک تا 90um مقابله کند و انتقال ایمن و بررسی میکروسکوپ را تکمیل کند. تا ۱۰ نوع ضخامت مختلف سیلیکون را می توانید از طریق پانل پیش تنظیم کنید.

• قابلیت دقیق برای افزایش عملکرد بازرسی ماکرو

دستگاه جدید با قابلیت بازرسی ماکرو (نوع LMB) دارای چرخش خودکار 360 درجه برای انجام بازرسی ماکرو هر طرف سیلیکون است. این طراحی می تواند به راحتی نقص ها و ذرات را در سمت مثبت و مخالف سیلیکون کشف کند. علاوه بر این، می توان سیلیکون را با استفاده از شاک 30 درجه شیب داد.

صفحه نمایش LCD با دقت و راحتی عملیاتی

صفحه نمایش LCD به اپراتور احساس بصری بصری بیشتری را فراهم می کند، که باعث می شود سیستم بازرسی ویفر اولمبوس آیتم ها و ترتیب را بررسی کند و پارامترهای مورد نیاز برای نصب و اصلاح خطا را در یک نگاه روشن کند. نتایج بازرسی، از جمله علامت های نقص ماکرو و میکرو وارد شده توسط اپراتور، می تواند در صفحه نمایش LCD نمایش داده شود تا بررسی اپراتور را آسان کند.

• قابلیت اطمینان دقیق

برای ایمنی سیلیکون، سیستم های بررسی ویفر سری AL120 از دو روش جدید برای تشخیص سیلیکون استفاده می کنند: ضخامت سیلیکون و موقعیت آن در جعبه. قبل از انتقال، مکان سیلیکون را در جعبه اسکن کنید. قابلیت قفل خودکار میز حمل اختیاری، امنیت انتقال سیلیکون به میز حمل خلاء را افزایش می دهد.

میکروسکوپ قدرتمند و قابل اعتماد

میکروسکوپ بازرسی نیمه هادی اولمپس MX61 می تواند تصاویر با وضوح بالا و وضوح بالا را با روش های مختلف مشاهده کند: میدان روشن، میدان تاریک، مداخله تفاضلی، مادون قرمز و مادون بنفش عمیق. مجهز به دیسک چرخش عینک الکتریکی، با میکروسکوپ میزبان دارای عملکرد اتصال نور دیافراگم، هر تغییر عینک، نور دیافراگم نیز به طور خودکار تغییر می کند.

مطابق با استانداردهای SEMI S2/S8 و RoHS

سیستم بازرسی ویفر سری AL120 نه تنها به ایمنی سیلیکون در انتقال اهمیت می دهد، بلکه ایمنی اپراتور را نیز تضمین می کند، کاملاً مطابق با استانداردهای S2 و S8 SEMI است و همچنین با استانداردهای Rohs مطابقت دارد.

مشخصات فنی سیستم بازرسی ویفر 8 اینچی اولمبوس