اسپکتومتر جرم کنترل فرآیند Atonarp Aston ™ مشخصات فنی:
ابزار عمومی برای کنترل فرآیند در زمان واقعی، گاز های مقاوم در برابر خوردگی، ضد انعطاف پذیری
پلتفرم تجزیه و تحلیل مولکولی در محل تولید نیمه هادی که داده های قابل اجرا و در زمان واقعی را ارائه می دهد
استفاده از منبع یونیزاسیون پلازما، بدون سیم، با دوام تر
ادغام کامل با ابزارهای تولید انبوه
Aston ™ تحلیلگر طیف جرم فرآیندبه عنوان یک پلتفرم قدرتمند، می تواند جایگزین چندین ابزار سنتی شود که سطوح کنترل بی سابقه ای را از جمله نور نقاشی، کامپیوتر و هدایت و رسوب، تمیز کردن اتاق، تطبیق اتاق و هضم را ارائه می دهد.
Aston ™ تحلیلگر طیف جرم فرآیندپارامترهای فنی
|
نوع |
Impact-300 |
Impact-300DP |
Plasma-200 |
Plasma-200DP |
Plasma-300 |
Plasma-300DP |
|
مدل |
AST3007 |
AST3006 |
AST3005 |
AST3004 |
AST3003 |
AST3002 |
|
جداسازی کیفیت |
ستون چهارم |
|||||
|
سیستم خلاء |
پمپ مولکولی |
پمپ مولکولی |
پمپ مولکولی |
پمپ مولکولی |
پمپ مولکولی |
پمپ مولکولی |
|
آشکارساز |
FC /SEM |
|||||
|
محدوده کیفیت |
2-285 |
2-220 |
2-285 |
|||
|
وضوح |
0.8±0.2 |
|||||
|
محدودیت تست |
0.1 PPM |
|||||
|
دمای کار |
15-35“℃ |
|||||
|
قدرت |
350 W |
|||||
|
وزن |
15 kg |
|||||
|
اندازه |
299 x 218 x 331 LxWxH(mm) |
400 x 240 x 325 LxWxH(mm) |
||||
Atonarp Aston™ کاربرد: پیشرفت های مهم در کنترل و بهینه سازی فرآیند نیمه هادی، بهبود تولید، انتقال و کارایی فرآیند تولید نیمه هادی
Aston ™ یک طیف سنج جرم آنلاین جمع و جور با طراحی کاملا جدید و با دوام برای نظارت و کنترل گاز در تولید نیمه هادی و کاربردهای کنترل فرآیند صنعتی، با دقت کمی بالا و زمان واقعی ترکیب شده با استحکام و قابلیت اطمینان تولید مانند تجزیه و تحلیل تشخیص پمپ خشک نیمه هادی، نظارت آنلاین، تشخیص است.
CVD / ALD: انتقال اکسید-نیترید و تجزیه و تحلیل ترکیب
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: تشخیص مولکول های ردیابی

اگر نیاز به اطلاعات بیشتر داریدAtonarp Aston ™ اسپکتومتر آنلاینبرای اطلاعات بیشتر یا بحث، لطفا به اطلاعات تماس زیر مراجعه کنید:
شانگهای: خانم یه تایوان: خانم وانگ
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
شماره تماس: +86 1391-883-7267
برخی از برندها در حال حاضر با نمایندگان همکاری صادقانه استخدام می کنند، کسانی که علاقه مند به تماس با خانم شانگهای بتونگ یه هستند 1391-883-7267
همه حقوق محفوظ است، کپی کنید!
