شرکت برتون (شانگهای) محدود
خانه>محصولات>اسپکتومتر جرم کنترل فرآیند Atonarp Aston ™
اسپکتومتر جرم کنترل فرآیند Atonarp Aston ™
اسپکتومتر جرم کنترل فرآیند Atonarp ژاپن Aston، با استفاده از فناوری های حسگری مولکولی، ارائه تجزیه و تحلیل تشخیص گاز در فرآیند نیمه هادی، CVD، حکاکی،
جزئیات محصولات

اسپکتومتر جرم کنترل فرآیند Atonarp Aston ™ مشخصات فنی:

ابزار عمومی برای کنترل فرآیند در زمان واقعی، گاز های مقاوم در برابر خوردگی، ضد انعطاف پذیری
پلتفرم تجزیه و تحلیل مولکولی در محل تولید نیمه هادی که داده های قابل اجرا و در زمان واقعی را ارائه می دهد
استفاده از منبع یونیزاسیون پلازما، بدون سیم، با دوام تر
ادغام کامل با ابزارهای تولید انبوه
Aston ™ تحلیلگر طیف جرم فرآیندبه عنوان یک پلتفرم قدرتمند، می تواند جایگزین چندین ابزار سنتی شود که سطوح کنترل بی سابقه ای را از جمله نور نقاشی، کامپیوتر و هدایت و رسوب، تمیز کردن اتاق، تطبیق اتاق و هضم را ارائه می دهد.

Aston ™ تحلیلگر طیف جرم فرآیندپارامترهای فنی

نوع

Impact-300

Impact-300DP

Plasma-200

Plasma-200DP

Plasma-300

Plasma-300DP

مدل

AST3007

AST3006

AST3005

AST3004

AST3003

AST3002

جداسازی کیفیت

ستون چهارم

سیستم خلاء

پمپ مولکولی

پمپ مولکولی
پمپ

پمپ مولکولی

پمپ مولکولی
پمپ

پمپ مولکولی

پمپ مولکولی
پمپ

آشکارساز

FC /SEM

محدوده کیفیت

2-285

2-220

2-285

وضوح

0.8±0.2

محدودیت تست

0.1 PPM

دمای کار

15-35“℃

قدرت

350 W

وزن

15 kg

اندازه

299 x 218 x 331 LxWxH(mm)

400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp Aston کاربرد: پیشرفت های مهم در کنترل و بهینه سازی فرآیند نیمه هادی، بهبود تولید، انتقال و کارایی فرآیند تولید نیمه هادی
Aston ™ یک طیف سنج جرم آنلاین جمع و جور با طراحی کاملا جدید و با دوام برای نظارت و کنترل گاز در تولید نیمه هادی و کاربردهای کنترل فرآیند صنعتی، با دقت کمی بالا و زمان واقعی ترکیب شده با استحکام و قابلیت اطمینان تولید مانند تجزیه و تحلیل تشخیص پمپ خشک نیمه هادی، نظارت آنلاین، تشخیص است.
CVD / ALD: انتقال اکسید-نیترید و تجزیه و تحلیل ترکیب
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: تشخیص مولکول های ردیابی
Aston™ 半导体在线质谱仪应用

اگر نیاز به اطلاعات بیشتر داریدAtonarp Aston ™ اسپکتومتر آنلاینبرای اطلاعات بیشتر یا بحث، لطفا به اطلاعات تماس زیر مراجعه کنید:
شانگهای: خانم یه تایوان: خانم وانگ
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
شماره تماس: +86 1391-883-7267

برخی از برندها در حال حاضر با نمایندگان همکاری صادقانه استخدام می کنند، کسانی که علاقه مند به تماس با خانم شانگهای بتونگ یه هستند 1391-883-7267
همه حقوق محفوظ است، کپی کنید!

بازجویی آنلاین
  • Contacts
  • شرکت
  • تلفن
  • ایمیل
  • WeChatCity name (optional, probably does not need a translation)
  • رمز بررسی
  • محتوای پیام

عمليات موفق!

عمليات موفق!

عمليات موفق!