سنسور فشار نازک CYG511 به طور خاص برای توزیع میدان فشار سطحی مدل آزمایشی در تونل های بادی در مطالعات هواشناسی طراحی شده است. این به ویژه برای شرایط کاربردی که مدل های نازک هستند و نمی توانند سنسور های کوچک را با سوراخ نصب کنند، مناسب است. سنسورهای بسیار نازک را مستقیماً نصب کنید یا سوراخ های کم عمق را حفر کنید تا روی سطح مدل مسطح نصب شوند. سیم انعطاف پذیر بسیار نازک آن می تواند مستقیماً روی سطح مدل قرار گیرد. بنابراین اساساً بر میدان اندازه گیری تاثیر نمی گذارد.
اجزای حساس به فشار CYG511 با استفاده از تکنولوژی پیشرفته MEMS طراحی و تولید می شوند. یکپارچه سه بعدی، دو طرفه پردازش اجزای حساس به فشار مقاومت سیلیکون با دقت خطی عالی، تزریق یون، انطباق بالای پل استرس ویستون ساخته شده توسط فن آوری نورگرافی ظریف، باعث می شود که آن را با انحراف دمای بسیار کوچک، پردازش میکرومکانیکی بدن، خوردگی دقیق همه جانبه و فن آوری وابستگی مستقیم سیلیکون سیلیکون، ساختار حساس به نیروی فیلم سیلیکون را با حساسیت بالا، ثبات عالی، عملکرد پویا عالی در حالی که ضخامت فوق العاده نازک دارد. ضخامت کل ساختار حساس به نیروی آن با ساختار تقویت کننده زیربنا تنها 0.6 میلی متر است که برای دریافت سنسور نازک تر با اندازه نهایی نازک تر مناسب تر است.
CYG511 یک حالت اندازه گیری فشار مطلق است که فشار استاندارد 100، 160، 250، 400، 600، 1000، 1600، 2500 و 4000kpa است.
CYG511 به شکل دایره ای نازک است. قطر اسمی ف8 میلی متر، ضخامت 2.2 میلی متر، سیم خروجی 5 سیم انعطاف پذیر، طول 1 متر، در پایان 1 متر با توازن جبران پل ساخته شده از صفحه PCB، ضخامت سیم انعطاف پذیر 0.15 میلی متر، عرض 4 میلی متر است.
CYG511 به دلیل تحمل فشار مثبت با اجزای حساس، برای گازهای خشک کاملا غیر خوردگی و غیر هدایت کننده مناسب است. این دارای منطقه دمای عملیاتی بسیار گسترده و ویژگی های پاسخ فرکانس پویا بسیار عالی است که می تواند در باند فرکانس پایین تا صفر و بالا تا هزاران هرتز استفاده شود. اگر عوامل رسانه پیچیده و آب بالا باشد، می توانید از CYG511S استفاده کنید که سطح و الکترودهای محافظت از ژل سیلیکونی را پوشش می دهد (ژل سیلیکونی عملکرد فرکانس پویا خود را کاهش می دهد). استفاده از مواد آلی پوشش محافظت از فیلم نازک CYG511P، به دلیل ضخامت فیلم محافظت در مقیاس um، از دست دادن کمتر در پاسخ فرکانس پویا، چرخه ویژه طولانی تر و افزایش هزینه بیشتر.
1- پارامترهای شاخص عملکرد:
| شاخص/درجه | دقت غیر خطی ±%FS |
تاخیر تکرار %FS |
ضریب دمای صفر ×10-4FS /℃ |
ضریب دمای حساسیت ×10-4FS /℃ |
سفر در صفر <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
خروجی کامل: حداقل 30mv مقدار معمولی 80mv حداکثر 130mv
امپدانس ورودی خروجی: حداقل 3 kΩ مقدار معمولی 5 kΩ حداکثر 7 kΩ
جریان ورودی: 1mA (منبع جریان ثابت)
محدوده دمای کار: -55 ℃ ~ 120 ℃
محدوده دمای جبران: -10 ℃ ~ 80 ℃
ظرفیت بارگذاری بیش از حد: 200 درصد از محدوده
حساسیت شتاب: <0.001٪ FS / g
9- نقشه اندازه:

