سنسور فشار نازک CYG513 به طور خاص برای توزیع میدان فشار سطحی مدل آزمایشی در تونل های بادی در مطالعات هواشناسی طراحی شده است. این به ویژه برای شرایط کاربردی که مدل های نازک هستند و نمی توانند سنسور های کوچک را با سوراخ نصب کنند، مناسب است. سنسورهای بسیار نازک را مستقیماً نصب کنید یا سوراخ های کم عمق را حفر کنید تا روی سطح مدل مسطح نصب شوند. سیم انعطاف پذیر بسیار نازک آن می تواند مستقیماً روی سطح مدل قرار گیرد. بنابراین اساساً بر میدان اندازه گیری تاثیر نمی گذارد.

اجزای حساس به فشار CYG513 با استفاده از تکنولوژی پیشرفته MEMS طراحی و تولید می شوند. یکپارچه سه بعدی، دو طرفه پردازش اجزای حساس به فشار مقاومت سیلیکون دارای دقت خطی عالی، تزریق یون، انطباق بالای پل استرس ویستون ساخته شده توسط فناوری نورگرافی ظریف، باعث می شود که آن را دارای انحراف دمای بسیار کوچک، پردازش میکرومکانیکی بدن، خوردگی دقیق همه جانبه و فناوری پیوند آنود سیلیکون شیشه ای، ساختار حساس به نیروی فیلم نازک سیلیکون را با حساسیت بالا، ثبات عالی، عملکرد پویا عالی در حالی که ضخامت نازک تر دارد. ضخامت کل ساختار حساس به نیروی یکپارچه و ساختار تقویت کننده زیربنا تنها 0.9 میلی متر است که به دست آوردن سنسورهای نازک با اندازه نهایی نازک تر کمک می کند.

CYG513 یک حالت اندازه گیری فشار سطحی است که فشار استاندارد 2، 5، 10، 25، 40، 60، 100، 160، 250، 400، 600، 1000kpa است.

CYG513 به شکل دایره ای نازک است. حداقل قطر 10 میلی متر، ضخامت 4 میلی متر، فشار مرجع می تواند در باز پشت (513G) هدایت شود، و همچنین می تواند در بخش جانبی سرب با استفاده از کاپیلار هدایت شود (513D)، سیم هدایت 5 سیم انعطاف پذیر، طول 1 متر، در پایان 1 متر با توازنگر جبران پل ساخته شده از صفحه PCB، ضخامت سیم انعطاف پذیر 0.15 میلی متر، عرض 4 میلی متر. (همچنین می تواند با استفاده از کابل محافظ چند هسته Φ2.5 میلی متر سیم خارج شود)

CYG513 به دلیل استفاده از اجزای حساس برای تحمل فشار برعکس، دارای سازگاری عالی با رسانه است و همچنین می تواند برای کاربرد در دینامیک جریان آب استفاده شود. این دارای منطقه دمای کار بسیار گسترده و ویژگی های پاسخ فرکانس پویا بسیار عالی است که می تواند در باند فرکانس پایین تا صفر و بالا تا ده ها هزار هرتز استفاده شود.

1- پارامترهای شاخص عملکرد

خروجی کامل: حداقل 30mv مقدار معمولی 80mv حداکثر 130mv

امپدانس ورودی خروجی: حداقل 3 kΩ مقدار معمولی 5 kΩ حداکثر 7 kΩ

جریان ورودی: 1mA (منبع جریان ثابت)

محدوده دمای کار: -55 ℃ ~ 120 ℃

محدوده دمای جبران: -10 ℃ ~ 80 ℃

ظرفیت بارگذاری بیش از حد: 200 درصد از محدوده

حساسیت شتاب: <0.001٪ FS / g

9- نقشه اندازه: