الگوریتم کنترل کنترل پایدار جریان انحراف را با کنترل نسبت جریان و کنترل فشار بالای FS-3000 با استفاده از فناوری بهینه سازی کنترل HORIBA STEC انجام می دهد. علاوه بر این، حتی اگر نسبت تقسیم تغییر کند، الگوریتم کنترل می تواند پاسخ سریع به تقسیم را به دست آورد.

• افزایش قابلیت مقیاس پذیری و عملکرد نگهداری FS-3000 می تواند تا 15 کانال را از طریق پردازش سیگنال با سرعت بالا جدا کند. در صورت خرابی MFC، فقط باید خرابی را از دستگاه جایگزین کنید.

• مشخصات مورد نیاز برای پاسخ انعطاف پذیر FS-3000 از انواع گازهای مختلف از جمله گازهای مخلوط پشتیبانی می کند. FS-3000 همچنین از رابط های کاربری مانند RS-485 و DeviceNet پشتیبانی می کند.