ویژگی های محصول:
1، محفظه ماشین با استفاده از رنگ های سرد نورد شده است، رنگ داخلی از فولاد ضد زنگ 316L ساخته شده است؛ گرمایشگر به طور یکنواخت در اطراف دیوار خارجی صفرا داخلی توزیع شده است و هیچ لوازم جانبی الکتریکی و دستگاه قابل اشتعال در صفرا داخلی وجود ندارد. درهای شیشه ای دو لایه ضد گلوله و فولادی به وضوح اشیاء داخل استودیو را مشاهده می کنند.
2، بسته شدن در جعبه تنظیم انرژی تنگ، حلقه مهر و موم لاستیک سیلیکونی کلی، اطمینان از خلاء بالا در جعبه.
3، میکرو کامپیوتر کنترل کننده هوشمند، دارای تنظیمات، اندازه گیری نمایش دو رقمی دما و عملکرد خود یکپارچه سازی PID، کنترل دقیق و قابل اعتماد دما.
سیستم کنترل صفحه لمسی هوشمند با ماژول PLC میتسوبیشی ژاپنی می تواند کاربران را با توجه به شرایط مختلف فرآیند، تغییر برنامه، دما، خلاء و زمان هر برنامه.
طراحی اضافه شده جذب خودکار گاز بسته HMDS، عملکرد مهر و موم جعبه خلاء خوب است، اطمینان حاصل کنید که گاز HMDS بدون نگرانی از نشت خارجی است.
6، کل سیستم با استفاده از مواد ساخته شده است، بدون مواد گرد و غبار، مناسب برای پاک کردن محیط بین 100 درجه نور.

قطعات انتخابی:
پمپ خلاء: مارک آلمانی، پمپ روغن چرخشی دو قطبی لیبل "DC" با خلاء بالا، سر و صدا کم و عملکرد پایدار.
لوله اتصال: لوله های موج آمیز فولاد ضد زنگ، کاملاً مهر و موم پمپ خلاء را به کوره متصل می کند.

نیازهای سیستم پیش پردازش HMDS:
در فرآیند تولید نیمه هادی، نقاشی یک بخش مهم از فرآیند انتقال گرافیک مدار یکپارچه است، کیفیت چسبندگی به طور مستقیم بر کیفیت نقاشی تأثیر می گذارد، فرآیند چسبندگی نیز به ویژه مهم است. اکثریت عظیم چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبندگی چسبنده HMDS (هکسا متیل دی سیلانزان) می تواند به خوبی این وضعیت را بهبود بخشد. پس از پوشش HMDS بر روی سطح سیلیکون، گرم کردن در کوره می تواند ترکیبات سیلوکسان را تولید کند. این با موفقیت سطح سیلیکون را از هیدروفیل به هیدروفوب تبدیل می کند و پایه هیدروفوب آن می تواند به خوبی با چسب فوتوگرافی متصل شود و نقش اتصال دهنده را بازی کند.

اصل کوره خلاء HMDS:
سیستم پیش پردازش HMDS از طریق پارامترهای مانند دمای کار فرآیند پیش پردازش HMDS کوره، زمان پردازش، زمان نگهداری در هنگام پردازش می تواند به طور یکنواخت یک لایه HMDS را در صفحه سیلیکون، سطح پایه پوشش دهد، زاویه تماس صفحه سیلیکون را پس از پردازش HMDS کاهش می دهد، مصرف چسب را کاهش می دهد و چسبندگی چسب را بهبود می بخشد.

فرآیند کار عمومی کوره خلاء HMDS:
ابتدا دمای کار کوره را تعیین کنید. روش پیش پردازش معمولی این است که: پمپ خلاء را باز کنید، پس از رسیدن به یک خلاء بالا در خلاء، شروع به پر کردن نیتروژن کنید، پس از رسیدن به یک خلاء پایین، دوباره پمپ خلاء، فرآیند پر کردن نیتروژن را انجام دهید، پس از رسیدن به تعداد تنظیم شده برای پر کردن نیتروژن، شروع به نگهداری برای مدت زمانی کنید تا سیلیکون به طور کامل گرم شود و رطوبت سطح سیلیکون را کاهش دهد. سپس دوباره شروع به پمپ کردن خلاء، پر کردن گاز HMDS، پس از رسیدن به زمان تنظیم شده، متوقف کردن بارگذاری مایع HMDS، وارد مرحله نگهداری می شود تا سیلیکون به طور کامل با HMDS واکنش نشان دهد. پس از رسیدن به زمان نگهداری تنظیم شده، دوباره شروع به پمپ خلاء کنید. نیتروژن را وارد کنید تا کل پروسه را تکمیل کنید. مکانیزم واکنش HMDS و سیلیکون به شکل زیر است: ابتدا به 100 ℃ -200 ℃ گرم می شود، رطوبت سطح سیلیکون را حذف می کند، سپس HMDS با سطح OH واکنش نشان می دهد، اتر سیلیکون را در سطح سیلیکون تولید می کند، وابستگی هیدروژن را حذف می کند، بنابراین سطح قطبی را به سطح غیر قطبی تبدیل می کند. کل واکنش تا زمانی ادامه می یابد که مقاومت بیت فضایی (ترمتیل سیلانیل بزرگتر) از واکنش های بیشتر آن جلوگیری می کند.

انتشار گازهای خروجی و غیره: بخار اضافی HMDS (گازهای خروجی) از طریق پمپ خلاء پمپ می شود و به لوله های جمع آوری گازهای خروجی اختصاصی منتقل می شود. در صورت عدم وجود لوله های تخصصی برای جمع آوری گازهای خروجی باید به طور خاص پردازش شود.

پوشش پوشش سرد