میکروسکوپ های بازرسی نیمه هادی / FPD اولیمبس MX63 و MX63L برای بازرسی با کیفیت بالا تراشه های با ویفر های تا 300 میلی متر، صفحه نمایش مسطح، صفحه مدار و سایر نمونه های بزرگ بهینه شده اند. طراحی ماژولار آنها به شما اجازه می دهد تا اجزای مورد نیاز برای سفارشی سازی سیستم به برنامه را انتخاب کنید. میکرو بازرسی نیمه هادی / FPD Olympus با ترکیب نرم افزار تحلیل تصویر جریان Olympus، کل جریان کار شما، از مشاهده تا ایجاد گزارش، می تواند ساده شود.

ابزار تحلیل پیشرو

قابلیت های رصد چند منظوره سری MX63 تصاویر واضح و واضح را فراهم می کند، بنابراین کاربران می توانند نقص های نمونه را به طور قابل اعتماد تشخیص دهند. تکنولوژی های جدید روشنایی و گزینه های جمع آوری تصویر در نرم افزار تحلیل تصویر Olympus Stream به کاربران گزینه های بیشتری برای ارزیابی نمونه های خود و ثبت یافته های خود را می دهد.

غیر قابل مشاهده: ترکیب مشاهده و دریافت

تکنولوژی های مشاهده ترکیبی با ترکیب میدان تاریک با روش مشاهده دیگری مانند میدان روشن، فلورسنت یا قطبی، تصاویر مشاهده ای منحصر به فرد تولید می کنند. کاربران مشاهده ترکیبی قادر به مشاهده نقص های غیرقابل مشاهده در میکروسکوپ معمولی هستند. روشنایی های LED دایره ای که برای مشاهده میدان تاریک استفاده می شوند، دارای تابع میدان تاریک جهتی هستند که تنها یک ربع را در زمان داده شده تابش می دهد. این روشنایی هالو نمونه را کاهش می دهد و به تجسم بافت سطح نمونه کمک می کند.

ساختار تراشه نیمه هادی

باقیمانده های چسب بر روی تراشه های نیمه هادی

ایجاد تصاویر پانورامیک به راحتی: MIa فوری

با استفاده از چندین هماهنگی تصویر (MIA) ، کاربران می توانند به سادگی تصاویر را با حرکت دکمه KY در مرحله دستی به سرعت و به راحتی به هم بپیوندند، در حالی که پلتفرم الکتریکی غیر ضروری است. نرم افزار Olympus Stream از تشخیص الگوی برای تولید تصاویر پانورامیک استفاده می کند و به کاربران چشم انداز گسترده تری می دهد.

ایجاد تمام تصاویر متمرکز: EFI

قابلیت تصویربرداری تمرکز گسترده (EFI) در جریان اولمپس تصاویر نمونه را ضبط می کند که ارتفاع آن ها فراتر از عمق تمرکز هدف گسترش می یابد و آنها را با هم جمع می کند تا یک تصویر کاملا متمرکز ایجاد کند. EFI می تواند به صورت دستی یا الکتریکی محور Z انجام شود و یک نمودار ارتفاع برای تجسم ساختاری آسان ایجاد کند. همچنین می توانید تصاویر EFI را به صورت آفلاین در دسکتاپ جریان ایجاد کنید.

ضبط مناطق روشن و تاریک با HDR

با استفاده از پردازش تصویر پیشرفته، محدوده پویا بالا (HDR) تفاوت روشنایی در تصویر را برای کاهش درخشش تنظیم می کند. HDR کیفیت بصری تصاویر دیجیتال را بهبود می بخشد و در نتیجه به تولید گزارش های حرفه ای کمک می کند.

از اندازه گیری به تحلیل

اندازه گیری برای کنترل و بازرسی کیفیت و فرآیند بسیار مهم است. با این در نظر گرفتن، حتی بسته های اولمبوس جریان در سطح ابتدایی شامل یک منوی کامل از قابلیت های اندازه گیری تعاملی است که تمام نتایج اندازه گیری در یک فایل تصویر برای مستندات بیشتر ذخیره می شود. علاوه بر این، راه حل مواد جریان اولمبوس یک رابط بصری و گرایش به جریان کار برای تجزیه و تحلیل پیچیده تصویر را ارائه می دهد. با کلیک یک دکمه، وظایف تجزیه و تحلیل تصویر می تواند به سرعت و با دقت انجام شود. با کاهش قابل توجهی زمان پردازش تکرار وظایف، اپراتور می تواند بر روی بررسی های دست تمرکز کند.

تولید گزارش

ایجاد گزارش معمولا زمان بیشتری نسبت به گرفتن تصاویر و اندازه گیری می گیرد. نرم افزار Olympus Stream ایجاد گزارش بصری را برای تولید گزارش های هوشمند و پیچیده بر اساس قالب های پیش تعریف شده فراهم می کند. ویرایش بسیار ساده است و گزارش را می توان به نرم افزار Microsoft Word یا PowerPoint صادر کرد. علاوه بر این، قابلیت گزارش نرم افزار Olympus Stream اجازه می دهد تا مقیاس بندی دیجیتال و عکس های بزرگ شده را به دست آورد. فایل گزارش یک اندازه معقول برای تبادل داده از طریق ایمیل است.

گزینه های دوربین مستقل

با استفاده از دوربین های میکروسکوپ DP22 یا DP27، سری MX63 به یک سیستم مستقل پیشرفته تبدیل می شود. دوربین را می توان از طریق یک جعبه جمع و جور که فقط نیاز به فضای کمتری دارد کنترل کرد، به کاربر کمک می کند تا از فضای آزمایشگاهی به حداکثر برسد، در حالی که می تواند تصاویر واضح را بگیرد و اندازه گیری های اساسی را انجام دهد.

پشتیبانی از Cleanroom Conformity

سری MX63 برای کار در اتاق های تمیز طراحی شده و به کاهش خطر آلودگی یا آسیب به نمونه کمک می کند. این سیستم دارای طراحی انسانی است که به کاربر کمک می کند تا حتی در طول استفاده طولانی مدت راحت باشد. سری MX63 مطابق با استانداردهای بین المللی از جمله نیمه S2/S8، CE و UL است.

یکپارچه سازی تراشه بارگر اختیاری - سیستم AL120*

بارگذاری کننده های تراشه ای اختیاری می توانند به سری MX63 متصل شوند و تراشه های نیمه هادی سیلیکون و ترکیب را از نوار جعبی به مرحله میکروسکوپ بدون استفاده از پینست یا میله منتقل کنند. عملکرد عالی و قابلیت اطمینان، موثر جلو و عقب مکرو بررسی، در حالی که بارگر کمک به افزایش بهره وری در آزمایشگاه.

MX63 با تراشه بارگر Al120 (نسخه 200 میلی متر) * E120 در EMEA در دسترس نیست.

تمیز کردن سریع

سری MX63 بررسی تراشه های اتاق بدون گرد و غبار را برآورده می کند. تمام قطعات متحرک از ساختار محافظ استفاده می کنند و درمان الکتریکی ضد استاتیک را بر روی قاب میکروسکوپ، لوله ها و قفسه های تنفسی و غیره اعمال می کنند. چرخش بال بینی موبایل سریع تر از بال بینی دستی است و زمان بررسی را کاهش می دهد در حالی که دست اپراتور را پایین تر از تراشه نگه می دارد و آلودگی بالقوه را کاهش می دهد.

طراحی سیستم برای مشاهده موثر

به دلیل ترکیبی از کلاچ داخلی و دکمه XY، سطح XY قادر به انجام حرکت در دو مرحله ضخیم و ظریف به طور همزمان است. این مرحله به کارایی مشاهده حتی برای نمونه های بزرگ مانند تراشه های 300 میلی متری کمک می کند.طیف گسترده ای از لوله های تماشای شیب دار به اپراتور اجازه می دهد تا در موقعیت راحت زیر میکروسکوپ بنشیند.

پذیرش تمام اندازه های تراشه

این سیستم با انواع مختلف 150 - 200 میلی متر و 200 - 300 میلی متر وافر نگهبانان و صفحات شیشه ای. اگر اندازه تراشه در خط تولید تغییر کند، قاب میکروسکوپ را می توان با هزینه های کمتری تغییر داد. با سری MX63، می توان از مراحل مختلف برای جای دادن خطوط بررسی در تراشه های 75 میلی متر، 100 میلی متر، 125 میلی متر و 150 میلی متر استفاده کرد.

کنترل میکروسکوپ بصری: آسان برای استفاده

تنظیمات میکروسکوپ کار ساده است و کاربر را قادر می سازد تنظیمات سیستم را تنظیم و تکرار کند.

یافتن سریع تمرکز: تمرکز کمک

وارد کردن دستگاه های کمک تمرکز در مسیر نوری می تواند به راحتی و دقیقا بر روی نمونه های کم کنتراست مانند قطعات برهنه تمرکز کند.

بازیابی آسان تنظیمات میکروسکوپ: سخت افزار کدگذاری

قابلیت کدگذاری تنظیمات سخت افزاری سری MX63 را با نرم افزار تحلیل تصویر جریان اولیمبس ترکیب می کند. روش های مشاهده، شدت روشنایی و میزان تقویت به طور خودکار توسط نرم افزار ثبت می شود و در تصاویر مربوطه ذخیره می شود. از آنجا که تنظیمات را می توان به راحتی تکرار کرد، هر اپراتور می تواند همان بررسی کیفیت را با حداقل آموزش انجام دهد.

کنترل انسانی برای عملیات سریع تر و راحت تر

دستگاه کنترلی برای تغییر هدف و تنظیم نور در زیر میکروسکوپ قرار دارد، بنابراین کاربر مجبور نیست دکمه تمرکز را آزاد کند یا سر خود را از عینک دور کند.

مشاهده سریعتر از طریق مدیر شدت نور و کنترل خودکار دیافراگم

در میکروسکوپ معمولی، هر ناظر باید شدت نور و دیافراگش را تنظیم کند. کاربران سری MX63 قادر به تنظیم قدرت نور و شرایط دیافراگم برای ضربه های مختلف تقویت و روش های مشاهده هستند. این تنظیمات به راحتی قابل فراخوانی هستند و به کاربران کمک می کنند تا زمان خود را صرفه جویی کنند و کیفیت تصویر عالی را حفظ کنند.

مدیر شدت نور

شدت نور معمولی	هنگام تغییر ضرب بزرگی یا روش مشاهده، تصویر بیش از حد روشن یا تاریک می شود.
مدیر شدت نور	هنگام تغییر ضرب بزرگی یا مقادیر مشاهده، شدت نور به طور خودکار برای تولید تصاویر عالی تنظیم می شود.

کنترل خودکار دیافه

بررسی کیفیت تصویربرداری نوری و دیجیتال

تاریخچه اولمپاس در توسعه کیفیت بالا نوری و قابلیت های پیشرفته تصویربرداری دیجیتال ثبت کرده است که کیفیت نوری و میکروسکوپ با دقت اندازه گیری عالی را ارائه می دهد.

عملکرد نوری برجسته: کنترل فرق پیش موج

ویژگی های نوری عین به طور مستقیم بر کیفیت تصویر مشاهده شده و نتایج تجزیه و تحلیل تاثیر می گذارد. هدف بزرگ سازی بالا اولمبوس UIS2 برای به حداقل رساندن تفاوت پیش موج طراحی شده است و عملکرد نوری قابل اعتماد را ارائه می دهد.

پیش موج بد پیش موج خوب (هدف UIS2)

دمای رنگ ثابت: روشنایی سفید با شدت بالا

سری MX63 از منبع نور LED سفید با شدت بالا برای انعکاس و انتقال نور استفاده می کند. LED دمای رنگ را بدون توجه به شدت ثابت نگه می دارد تا کیفیت تصویر قابل اعتماد و بازتولید رنگ را تضمین کند. سیستم LED مواد روشنایی با کارایی بالا و عمر طولانی را برای کاربردهای علمی مواد فراهم می کند.

اندازه گیری دقیق: کالیبراسیون خودکار

مشابه میکروسکوپ دیجیتال، کالیبراسیون خودکار هنگام استفاده از نرم افزار Olympus Stream در دسترس است. کالیبراسیون خودکار به حذف تغییرات انسانی در طول فرآیند کالیبراسیون کمک می کند که منجر به اندازه گیری های قابل اعتماد تر می شود. کالیبراسیون خودکار با استفاده از الگوریتم های کالیبراسیون درست به طور خودکار از میانگین چندین نقطه اندازه گیری محاسبه می شود. این امر تفاوت های معرفی شده توسط اپراتورهای مختلف را به حداکثر می رساند و دقت ثابت را حفظ می کند و قابلیت اطمینان تایید منظم را بهبود می بخشد.

تصویر کاملا واضح: اصلاح سایه تصویر

نرم افزار Olympus Stream دارای اصلاح سایه برای تطبیق سایه در گوشه تصویر است. هنگامی که همراه با تنظیمات آستانه شدت استفاده می شود، اصلاح سایه تجزیه و تحلیل دقیق تری را فراهم می کند.

تراشه نیمه هادی (تصویر دوگانه)

کاملا قابل تنظیم

هدف سری MX63 این است که مشتریان را قادر به انتخاب اجزای نوری مختلف برای بررسی های فردی و نیازهای کاربردی سازگار کند. این سیستم می تواند از تمام روش های مشاهده استفاده کند. کاربران همچنین می توانند از بین بسته های مختلف تحلیل تصاویر Olympus Stream برای برآورده کردن نیازهای شخصی جمع آوری و تجزیه و تحلیل تصاویر انتخاب کنند.

دو سیستم با اندازه های مختلف نمونه سازگار هستند

سیستم MX63 می تواند تراشه های تا 200 میلی متری را در خود جای دهد، در حالی که سیستم MX63L می تواند تراشه های تا 300 میلی متری را با همان ردپای کوچک سیستم MX63 پردازش کند. طراحی ماژولار به شما اجازه می دهد تا میکروسکوپ را با توجه به نیازهای خاص خود سفارشی کنید.

سازگاری با مادون قرمز

عینک های مادون قرمز می توانند با استفاده از عینک های مادون قرمز انجام شوند که به اپراتور اجازه می دهد تا داخل تراشه های IC بسته بندی شده و نصب شده بر روی PCB را بدون آسیب تشخیص دهد، با استفاده از ویژگی های سیلیکون که مادون قرمز را منتقل می کند. هدف مادون قرمز 5X تا 100X می تواند با طول موج نور قابل مشاهده مادون قرمز نزدیک، تفاوت رنگ را اصلاح کند.

سری MX63 برای میکروسکوپ های منعکس کننده استفاده می شود. این کاربردها نمونه ای از روش هایی هستند که سیستم ها برای بازرسی صنعتی استفاده می کنند.

مادون قرمز (IR) برای پیدا کردن نقص های دیگر در تراشه های IC و دستگاه های سیلیکونی روی شیشه استفاده می شود.

نور قطبی برای آشکار کردن بافت ماده و وضعیت کریستال استفاده می شود. این برای بررسی تراشه و ساختار LCD مناسب است.

کنتراست مداخله تفاضلی (DIC) برای کمک به تفاوت بین نمای و نمونه های کوچک استفاده می شود. این مثالی برای نمونه های inspections دانشگاه با تفاوت های بالا مانند دقیقه مغناطیسی سر، رسانه های هارد دیسک، و تراشه های polished است.

میدان تاریک برای تشخیص خراش یا نقص های کوچک روی نمونه یا برای تشخیص نمونه با استفاده از آینه (مانند تراشه) استفاده می شود. کاربران روشنایی ترکیبی قادر به مشاهده الگوی ها و رنگ ها هستند.

فلورسنت در نمونه هایی که نور را در هنگام روشنایی با فیلترهای طراحی شده ویژه منتشر می کنند استفاده می شود. این برای تشخیص آلودگی و باقیمانده های مقاومت در برابر خوردگی نوری استفاده می شود. روشنایی مخلوط می تواند باقیمانده های مقاومت در برابر خوردگی نوری و الگوهای IC را مشاهده کند.

این تکنیک مشاهده برای نمونه های شفاف مانند LCD، پلاستیک و مواد شیشه ای کاربردی است. روشنایی مخلوط می تواند رنگ فیلتر و الگوی مدار را مشاهده کند.

پارامترهای پیکربندی میکروسکوپ بازرسی نیمه هادی / FPD اولمپاس MX63 / MX63L

		MX63	MX63L
سیستم های نوری		سیستم نوری UIS2 (اصلاح فاصله نامحدود)
نمایش میکرو آینه ماشین قفسه	روشنایی انعکاس کننده	چراغ LED، چراغ هالوژن 12V100W، چراغ جیوه 100W روشنایی: روشن، تاریک روشنایی دیافراگم الکتریکی داخلی روش مشاهده: میدان روشن، میدان تاریک، مداخله تفاضلی (DIC) ، قطب بندی ساده، فلوروسنت، مادون قرمز
	روشنایی انتقال پذیر	روشنایی انتقال پذیر: MX-TILLA یا MX-TILLB MX-TILLA::افشاگر نوری NA0.5 MX-TILLB: افزونه نوری سوراخ NA0.6 منبع نور: LG-PS2 (لامپ هالوژنی 12/V100 W) روش مشاهده: میدان روشن، قطب بندی ساده
	تمرکز	مسافت: 32 میلی متر دوره تنظیم دقیق در هر چرخش: 100 μm مقیاس کوچک: 1 μm مجهز به محدود کننده بالا برای تنظیم گشتاور دسته های ضخیم
	حداکثر بار (از جمله میز)	8 kg	15 kg
دیدگاه چا سیلندر	میدان دید گسترده (FN 22 mm)	نام فیلم: U-ETR4 چشم مستقیم و شیب دار: U-TTR-2 U-TR30-2 و U-TR30IR (مشاهده مادون قرمز) چشم برگشت: U-BI30-2 چشم برگشت و شیب: U-TBI30
	چشم انداز فوق العاده گسترده （FN 26.5 mm）	چشم مستقیم و شیب: نسبت اسپکتروگرافی MX-SWETTR 100%: 0 یا 0: 100٪) چشم مستقیم و شیب دار: U-SWETTR نسبت نوری 100٪ : 0 یا 20٪ : 80٪) نام فیلم: U-SWTR-3
تبدیل کننده عین		تبدیل کننده الکتریکی 6 سوراخ با DIC: U-D6REMC مبدل پنج سوراخ با DIC خودکار: U-P5REMC تبدیل کننده الکتریکی 6 سوراخ با DIC: U-D6BDREMC مبدل پنج سوراخ میدان روشن و تاریک با اسلات DIC: U-D5BDREMC تبدیل کننده پنج سوراخ میدان روشن و تاریک با DIC خودکار: U-P5BDREMC
ایستگاه حمل و نقل		درایو کلاچ داخلی، دسته راست هممحور: MX-SIC8R مسافت: 210 x 210 میلی متر منطقه نور: 189 x 189 mm درایو کلاچ داخلی، دسته راست هممحور: MX-SIC6R2 مسافت: 158 x 158 میلی متر (با استفاده از نور بازتابنده)	درایو کلاچ داخلی، دسته راست هممحور: MX-SIC1412R2 مسافت: 356 x 305 میلی متر فاصله نور: 356 x 284 میلی متر
وزن		حدود: 35.6 کیلوگرم (میکروسکوپ 26 کیلوگرم)	حدود: 44 کیلوگرم (میکروسکوپ 28.5 کیلوگرم)

توجه: محتوای جدول پارامترهای اصلی را ارائه می دهد.بر اساسنیازها تنظیم می شوند.