تجهیزات درمان سطح پلازما دمای پایین شامل بخش هایی از خلاء و منبع قدرت پلازما فرکانس بالا، سیستم خلاء پمپ، سیستم تورم، سیستم کنترل خودکار و غیره می باشند. تبدیل. اصل اساسی کار این است که در حالت خلاء، عمل پلازما می تواند گاز را تحت روش های کنترل و کیفیتی آیونیزه کند.با استفاده از پمپ خلاء استودیو پمپ خلاء به درجه خلاء 30-40pa، سپس در اثر ژنراتور فرکانس بالا، گاز را آیونیزه، تشکیل پلازما (ماده چهارم حالت)، ویژگی قابل توجه آن تخلیه درخشش یکنواخت بالا است، با توجه به گازهای مختلف نور مرئی رنگی از آبی به بنفش تیره، دمای پردازش مواد نزدیک به دمای اتاق است. این ذرات بسیار فعال و سطح پردازش عمل می کنند و تغییرات سطحی مختلف مانند هیدروفیلی سطح، مقاومت آب، اصطکاک کم، تمیز کردن، فعال کردن و حکاکی را دریافت می کنند.

پارامترهای فنی

۱،اندازه تجهیزات: 450mm*400mm*240mm

۲،اندازه مخزن خلاء: Φ151×300(L)mm （5L）

۳،ساختار انبار: حفره فولاد ضد زنگ، داخلی الکترود اتصال ظرفیت، بدون آلودگی، داخلی سینی کوارتز.

چهار،ژنراتور پلازمافرکانس رادیویی، قدرت تنظیم 0-300W، محافظت از مدار کامل، کار مداوم طولانی مدت (هوای خنک کننده).

پنج،سیستم کنترلکنترل کاملاً خودکار صفحه لمسی PLC، با استفاده از اجزای برقی برند وارداتی Omron، Schneider و غیره، دو حالت کنترل دستی و خودکار، صفحه لمسی رنگی واقعی، کنترل کننده قابل برنامه ریزی سیمنس (PLC) ، سیستم حسگر فشار خلاء تولید شده در ایالات متحده، می تواند آنلاین تنظیم، اصلاح، نظارت بر فشار خلاء، زمان پردازش، قدرت پلازما و پارامترهای فرآیند، و دارای آلارم خرابی، ذخیره سازی فرآیند و موارد مختلف است. با تنظیم پارامترهای مختلف فرآیند در حالت خودکار، می توانید با یک کلیک شروع کنید و به طور مداوم تکرار کنید. حالت دستی برای فرآیندهای آزمایشی و تعمیر و نگهداری تجهیزات استفاده می شود.

فرآیند فرآیند:

۱،فرآیند پردازش بارگذاری قطعه→ پمپ خلاء → وارد گاز واکنش → پلازما تخلیه درمان → گاز بازگشت → برداشتن قطعه کار

۲،کنترل فرآیند:

کنترل زمان پردازش: 1 ثانیه تا 120 دقیقه قابل تنظیم

فشار تخلیه پلازما: 30 تا 50Pa

محدوده تنظیم قدرت: 0 تا 300W قابل تنظیم به طور مداوم.

محدوده تنظیم جریان: گاز 1 (0 تا 300 میلی لیتر در دقیقه) گاز 2 (0 تا 500 میلی لیتر در دقیقه).

عملکرد نرم افزار PLC (رابط کنترل)

صفحه اصلی: نظارت در زمان واقعی و نمایش وضعیت عملیاتی و داده ها، قدرت پلازما، جریان گاز، سوئیچ دریچه، فشار خلاء، زمان اجرا و غیره

تنظیمات پارامتر: تنظیم و اصلاح پارامترهای فرآیند و مراحل.

وضعیت کار: می توانید داده ها و وضعیت فشار خلاء، قدرت پلازما را آنلاین مشاهده کنید.

هشدار خرابی: تشخیص چندین خرابی، هشدار و حفاظت از قفل متقابل .

نرم افزار تراشه بندی PDMS

اثر پیوند PDMS به سلاید

آزمایش‌های حذف پس از اتصال،PDMS پس از پاره شدن از سلاید جداگانه نمی شود و لایه پیوند قابل مشاهده بسیار بیشتر از خود PDMS است. فرآیند این سیستم ساده است، نرخ تولید بالا، سرعت پیوند سریع، قدرت بالا، نشت مایع رخ نمی دهد.