• دقت بالا ± 1.0٪ نقطه تنظیم
  خطی بودن این کنترل کننده جریان جرم توسط منحنی تقریبی چند بعدی جبران می شود و دقت بالایی را در محدوده کنترل جریان به دست می آورد. برای بهبود دقت واقعی گاز، داده های مقیاس بندی گازهای فرآیند مختلف توسط سیستم اندازه گیری گاز استاندارد HORIBA STEC اندازه گیری می شود.
• پاسخ با سرعت بالا
  مونتاژ سیستم PID متغیر برای پاسخ یک ثانیه بین هر دو نقطه تنظیم. PID متغیر به طور مداوم با توجه به تنظیمات نقطه جریان تغییر می کند. بهینه سازی ضریب PID در هنگام تغییر جریان کامل و گاز.
• راه حل های چند گازی/چند مقیاس
  نرم افزار تنظیم می تواند به سرعت و به راحتی مشخصات را تغییر دهد. یک ویژگی مهم این است که تغییرات بدون نیاز به حذف کنترل کننده جریان جریان جرم از پنل کنترل گاز یا لوله می تواند انجام شود. کاهش تعداد کنترلرهای جریان جرم احتیاطی مورد نیاز، صرفه جویی در زمان و هزینه.

کنترلر جریان توده SEC-Z500X برای کاربردهای مختلف و تولید نیمه هادی مناسب است.