EBSD， نام کامل انحراف پشت پراکندگی الکترون، ویژگی اصلی حفظ ویژگی های معمولی میکروسکوپ الکترونی اسکن در حالی که انحراف در سطح زیر میکرون با وضوح فضایی، داده های کریستالوژی را ارائه می دهد.

مثال 1

نتایج EBSD از نمونه های کربید ونگستن / کوبالت در شرایط 20kV

آزمایش توپ جوشکاری SEM-EBSD روی صفحه PCB

تغییر فاز γ → α در فولاد کم کربن

داده های استرس EBSD در محل آلیاژ Al

مثال 2 با استفاده از تکنولوژی TKD هممحور، ساختار نانوتراشه مس دوقلو نانوکریستال آزمایش شد و ساختار تراشه دوقلو را در مقیاس 2nm تشخیص داد.

نمودار PQ ساختار دوقلو مس نانوکریستال با نمایش IPFX و توزیع زاویه در بخش خطی وسط نمودار