شبیه ساز کم پذیری کاهش خنثی طیف نوع XGT
پارامترهای اصلی:
در محدوده 10 نانومتر بالا و پایین اندازه گیری ابزار طول موج (589 نانومتر، 880 نانومتر، 882 نانومتر) ، نسبت انحطاط 10٪ و 1٪ است، تغییرات نسبی انحطاط بیش از ± 20٪ نیست. فشار داخلی شبیه ساز کاهش خنثی طیف پذیری بر چرخش بیش از مقدار کوچک ابزار تأثیر نمی گذارد.
شبیه ساز کم پذیری کاهش خنثی طیف نوع XGT
پارامترهای اصلی:
در محدوده 10 نانومتر بالا و پایین اندازه گیری ابزار طول موج (589 نانومتر، 880 نانومتر، 882 نانومتر) ، نسبت انحطاط 10٪ و 1٪ است، تغییرات نسبی انحطاط بیش از ± 20٪ نیست. فشار داخلی شبیه ساز کاهش خنثی طیف پذیری بر چرخش بیش از مقدار کوچک ابزار تأثیر نمی گذارد.
شبیه ساز کم پذیری کاهش خنثی طیف نوع XGT
پارامترهای اصلی:
در محدوده 10 نانومتر بالا و پایین اندازه گیری ابزار طول موج (589 نانومتر، 880 نانومتر، 882 نانومتر) ، نسبت انحطاط 10٪ و 1٪ است، تغییرات نسبی انحطاط بیش از ± 20٪ نیست. فشار داخلی شبیه ساز کاهش خنثی طیف پذیری بر چرخش بیش از مقدار کوچک ابزار تأثیر نمی گذارد.
شبیه ساز کم پذیری کاهش خنثی طیف نوع XGT
پارامترهای اصلی:
در محدوده 10 نانومتر بالا و پایین اندازه گیری ابزار طول موج (589 نانومتر، 880 نانومتر، 882 نانومتر) ، نسبت انحطاط 10٪ و 1٪ است، تغییرات نسبی انحطاط بیش از ± 20٪ نیست. فشار داخلی شبیه ساز کاهش خنثی طیف پذیری بر چرخش بیش از مقدار کوچک ابزار تأثیر نمی گذارد.
شبیه ساز کم پذیری کاهش خنثی طیف نوع XGT
پارامترهای اصلی:
در محدوده 10 نانومتر بالا و پایین اندازه گیری ابزار طول موج (589 نانومتر، 880 نانومتر، 882 نانومتر) ، نسبت انحطاط 10٪ و 1٪ است، تغییرات نسبی انحطاط بیش از ± 20٪ نیست. فشار داخلی شبیه ساز کاهش خنثی طیف پذیری بر چرخش بیش از مقدار کوچک ابزار تأثیر نمی گذارد.
